編號	P102016
單位系所	電機工程學系
技術名稱	獲得薄膜光穿透率製程參數方法
簡介	一種獲得薄膜光穿透率製程參數方法，包含一資料庫建立步驟、一訓練步驟、一求解步驟，及一驗證步驟。該資料庫建立步驟是將多筆鍍膜控制參數群組與光穿透率的資料分成訓練資料與測試資料。該訓練步驟是將該訓練資料輸入一類神經網路，並建立每一鍍膜控制參數與光穿透率的對應關係。該求解步驟是將該測試資料中的光穿透率輸入經訓練步驟後的該類神經網路，搜尋出相對應鍍膜控制參數的數值。該驗證步驟是比較該等搜尋出的數值與鍍膜控制參數實際值的誤差。之後即能快速搜尋出在不同光穿透率的需求下所需輸入鍍膜控制參數的運算值。
教師名稱	黃瑞初
智慧財產權型式	發明
專利証號
可應用範圍/領域	本發明是有關於一種製程參數調整方法，特別是指一種獲得薄膜光穿透率製程參數方法。
特色/優點
推廣及運用價值
參考文件